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VD Series Ver.C是ULVAC原創的搭載了高效率（IE3）寬電壓電機的油回轉真空泵。 2段式旋片式到達壓力好，合適的設計實現了低噪音化，用途廣泛。愛發科油回轉真空泵VD30C VD60C VD90C維修

VD Series Ver.C是ULVAC原創的搭載了高效率（IE3）寬電壓電機的油回轉真空泵。 2段式旋片式到達壓力好，合適的設計實現了低噪音化，用途廣泛。日本進口愛發科真空泵VD151 VD201維修

干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用愛發科干式真空泵 HR/UR Series維修保養

干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用愛發科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養

干泵GR series是以有實際和信賴的LR,HR系列為基礎，面向一般產業用途設計的簡單構造泵。日本愛發科GR系列干式真空泵維修保養GR60A