英國愛德華羅茨真空泵EH4200C 230/460V，3 相，60Hz，15hp
概述
防爆型機械增壓泵已經過鑒定，可以在潛在易爆氣體環境中使用。
EH4200C 機械增壓泵已經過鑒定，可用于 CSA Division 1 區域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級壓力下保持的泵出氣口壓力。
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。
防爆型機械增壓泵可能配備防爆型電機，或作為防爆型系統的一部分供貨。請咨詢 Edwards。英國愛德華羅茨真空泵EH4200C 230/460V?
應用
- 半導體制程
- 真空蒸餾
- 真空包裝
- 鋼脫氣
- 薄膜覆層
- 真空冶金
- 低密度風洞
- 空間模擬
- 真空浸漬
- 油干燥和脫氣
- 制藥冷凍干燥
- CO2 激光英國愛德華羅茨真空泵EH4200C 230/460V?
EH4200C 230/460V，3 相，60Hz，15hp
A30956982
功能和優勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
良好的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。
軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是良好技術設備的制造商所需要的。
技術數據
| 容積（工作容積） | |
| 50Hz | 4140 m3h-1/2440 ft3min-1 |
| 60Hz | 4985 m3h-1/2935 ft3min-1 |
| 使用后備泵時的有效抽取速度 | |
| E2M275 | 3100 m3h-1/1825 ft3min-1 |
| 泵的壓差 † | |
| 50Hz | 0-70 mbar/0-52 Torr |
| 60Hz | 0-50 mbar/0-38 Torr |
| 入口連接 | ISO250 |
| 出口連接 | ISO100 |
| 轉速 | |
| 50Hz | 0-2900 rpm |
| 60Hz | 0-3500 rpm |
| 連續入口操作壓力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
| 大出口壓力 | 1000 mbar/760 Torr |
| 推薦的后備泵 | GXS450、E2M275 |
| 電源供給 | |
| 50Hz | 220-240V/380-415V |
| 60Hz | 230V/460V |
| 馬達功率 | |
| 碳氫化合物 | 11kW/15hp |
| PFPE | 11kW/15hp |
| ATEX | 11kW |
| 防爆型 | 15hp |
| 環境溫度范圍 | |
| 操作 | 5 至 40°C/40 至 104°F |
| 存儲 | -10 至 80°C/14 至 176°F |
| 大操作濕度 | 90% RH |
| 推薦的冷卻水流量（入口溫度 20°C）* | 250 l h-1/1.1 gal min-1 |
| 推薦的冷卻水供應壓力* | 2-6 bar |
| 冷卻水接頭* | 3/8 英寸 BSP 陽螺紋 |
| 推薦用油 | |
| 標準型 | Ultragrade 20 |
| PFPE 版本 | Fomblin® YVAC 16/6 |
| 油容量 | |
| 齒輪箱 | 3.5 升 |
| 聯結器箱 | 6.5 升 |
| 軸桿封口儲油器 | 1.5 升 |
| 重量** | 481 kg/1058 lb |
* 在許多情況下，泵可在沒有冷卻水的情況下操作。是否適合 Edwards 請了解詳細信息。
** 重量請參考 IND 版本
†.取決于壓力
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