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適用于大型成膜裝置、太空艙等。

擁有的排除水蒸汽的性能。

外形尺寸 (單位:mm)

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*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)

U22H,U30是在貿(mào)易管理法規(guī)定中屬于戰(zhàn)略物資的出口管制品。
在出日本國境時(shí)請(qǐng)務(wù)必辦理日本政府的出口許可申請(qǐng)等手續(xù)。

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